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技術頻道

ATOP六寸廠晶圓追蹤系統方案介紹

1、目前使用狀況:

原本采用的晶圓架如下圖

A、目前FEB中有很多這樣的架子,操作人員操作好一個動作后,會隨便找一個架子,存放晶圓盒。等下次要用到的時候,已經忘記自己把晶圓盒放到哪里了,就需要找,就像大海撈針一樣。不僅浪費時間而且容易搞錯。
B、目前使用的晶圓架為6層,而且每層的深度可以放2個Box,每層可以放5排則每層最多可以放10個Box
C、每個晶圓盒上會有一個條碼,表示Lot number

2、改造需求

通過系統能夠快速找到晶圓盒

3、改造方案建議

1、因為貨架上晶圓盒擺放是一層放10個,且為兩排,并目前擺放是隨意性的。要想定位到每個晶圓盒比較困難,而且投入比較高。所以建議定位到每個貨架,然后操作人員再通過LotNumber尋找到正確的晶圓盒
2、貨架改造圖

在貨架上安裝一個數據顯示終端及一個條碼掃描器

3、流程介紹
A、放入晶圓盒:操作人員在擺放晶圓盒前,先通過貨架上的條碼掃描器掃描LotNumber, 數據顯示終端上會顯示該LotNumber(表示條碼已經正確讀取),然后將其放在貨架的任一位置。條碼數據通過數據顯示終端的網絡接口傳送到后臺數據庫,系統中存有數據顯示終端對應得貨架名,從而系統知道該晶圓盒擺放到了那個貨架上面。
B、 拿出晶圓盒:操作人員要拿出晶圓盒時,可通過FEB的任一PC終端查詢該晶圓盒位置,查詢到該晶圓盒所在的貨架后,去該貨架按照LotNumberr尋找到正確的晶圓盒,再在掃描器上掃描一下條碼,告訴系統該晶圓盒已經拿走。數據顯示終端也會顯示該LotNumber,讓操作人員再次確認是否拿的正確。
4、系統硬件需求及連接圖
A、數據顯示終端------DT4000
DT4000介紹:
主要特性:
直接連接以太網絡,100Mbps通訊速率更快更穩定
全角模式:16x16點陣 15 字符x4 行英數字及中文(簡/繁體)顯示
半角模式:8x8點陣 30字符x8 行英數字顯示
FLASH: 可存儲13000個16x16 中文字符
支持USB設備連接 2個USB接口
操作系統:Linux
產品規格
CPU:32位CPU
SDRAM:32M bytes (可擴展至64M bytes)
FLASH:4M bytes (可擴展至16M bytes)
網絡接口:支持無線網絡協議 IEEE802.3 TCP/UDP/SNMP/Telnet/HTTP/ICMP多種協議,標準10/100 Base-T RJ-45接口
液晶顯示:LED背光設計 240x64 像素 液晶顯示
蜂鳴器:電子蜂鳴器,聲音可調節
串口:一個RS232口
一個可設定RS-485/RS-232接口,D形9針接頭
接口:標準PS2接口,連接鍵盤、掃描槍等設備
功能鍵:8個功能鍵
USB接口:2個USB接口,可連接USB接口設備
輸入輸出:2組數字輸入(DI)、2組數字輸出(DO)
指示燈:LED指示燈指示:電源/運行/網絡/串口
功率:+12VDC @ 1.25A
溫度:工作溫度:0⊥ to 50℃ 儲放溫度:-20℃ to 70℃.
濕度:5~90%

5、設備清單

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