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半導(dǎo)體圓晶片刻線顯微鏡聚焦系統(tǒng)用電渦流位移傳感器


&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;<br />用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9200組成。 <br />主要指標(biāo): <br />測量對象:鋁 <br />量程起點:0.625mm <br />量程:±0.25mm <br />非線性:±1% <br />分辨率:<5x10^-9M <br />靈敏度:10V/mm <br />電源:+6~+30V,15MA/每通道 <br />頻響:0-10KHZ <br />輸出:±2.5V <br />溫漂:0.25&micro;m/℃ <br />欲了解更多關(guān)于產(chǎn)品的信息,請訪問真尚有公司網(wǎng)站www.51sensors.com <br />



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