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三家半導(dǎo)體大廠 揮軍銅制程3D芯片

聯(lián)電(2303)、爾必達(dá)(Elpida)、力成(6239)等3家半導(dǎo)體大廠今(21)日將宣布策略合作,據(jù)了解,3家業(yè)者將針對(duì)銅制程直通硅晶穿孔(Cu-TSV)3D芯片新技術(shù)進(jìn)行合作開發(fā),除了針對(duì)3D堆棧銅制程之高容量DRAM技術(shù)合作,未來也將開發(fā)DRAM及邏輯芯片之3D堆棧芯片技術(shù),爭(zhēng)取手機(jī)、高性能家電、游戲機(jī)等整合型單芯片市場(chǎng)商機(jī)。

聯(lián)電與爾必達(dá)在2007年底已在低介電銅制程上合作,聯(lián)電授權(quán)爾必達(dá)使用其低介電銅導(dǎo)線制程技術(shù),以應(yīng)用在爾必達(dá)的DRAM產(chǎn)品制程上,爾必達(dá)則是許可聯(lián)電將爾必達(dá)的DRAM技術(shù)應(yīng)用在嵌入式DRAM制程上。同時(shí),聯(lián)電與爾必達(dá)也針對(duì)相位變化隨機(jī)存取內(nèi)存(PRAM)進(jìn)行合作,結(jié)合爾必達(dá)在硫族化合物(GST)材料的專業(yè)硅智財(cái),與聯(lián)電在互補(bǔ)金屬氧化(CMOS)邏輯制程進(jìn)行整合。

聯(lián)電于2008年再度與爾必達(dá)延伸合作內(nèi)容至晶圓代工領(lǐng)域,爾必達(dá)將提供其位于日本廣島的12寸廠產(chǎn)能,聯(lián)電則提供硅智財(cái)(IP)及銅制程技術(shù),鎖定爭(zhēng)取日本IDM廠委外代工訂單。

而隨著聯(lián)電在去年將聯(lián)日半導(dǎo)體(UMCJ)納入成為百分之百持股子公司,爾必達(dá)的12寸廠產(chǎn)能若得以靈活運(yùn)用,聯(lián)電將可順勢(shì)進(jìn)入日本特殊應(yīng)用芯片(ASIC)代工市場(chǎng)。

然隨著整合型單芯片的市場(chǎng)應(yīng)用趨于成熟,爾必達(dá)于去年宣布成功開發(fā)出以Cu-TSV技術(shù)生產(chǎn)的8GbDDR3,但為了將Cu-TSV技術(shù)應(yīng)用到邏輯芯片產(chǎn)品線,或是應(yīng)用到整合內(nèi)存及邏輯芯片的整合型單芯片市場(chǎng),于是聯(lián)電、爾必達(dá)不僅決定再度合作,還找上了在TSV市場(chǎng)已有初步研發(fā)成果的力成,3家公司共同合作搶進(jìn)日益重要的Cu-TSV等3D芯片市場(chǎng)。

相較于聯(lián)電結(jié)合了爾必達(dá)及力成的DRAM制造及封測(cè)資源,共同開發(fā)TSV技術(shù),臺(tái)積電與轉(zhuǎn)投資封測(cè)廠采鈺、精材間,已經(jīng)藉由先進(jìn)光學(xué)封裝技術(shù)布局3D芯片,并開始量產(chǎn)部分制程采用TSV技術(shù)的CMOS影像傳感器,同時(shí)也在其開放創(chuàng)新平臺(tái)(OIP)中,提供客戶有關(guān)TSV相關(guān)的晶圓制造及封測(cè)等制程。

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