山東大學微電子器件及可靠性研究取得突破進展
近日，山東大學以苗慶海教授為學術帶頭人的科研團隊在“微電子器件及其可靠性”研究方向取得突破性進展，應用MQH算法，建立了基于電學測量方法的“微電子器件熱譜分析方法”。
該成果的選題來源于困擾微電子學領域的一個國際性科技難題，即用電學方法測量微電子器件芯片溫度分布不均勻性的難題。國際電工委員會的技術標準IEC 60747-7和美國軍標MIL-STD-883E是國際上普遍采用的關于測量微電子器件結溫的兩大系列標準，英國的BS IEC 60747-7、中華人民共和國國家標準GB/T 4587-94 和“中華人民共和國國家軍用標準 微電子器件試驗方法和程序”GJB548A－96是國際上采用這兩大系列標準的典型代表。這五個標準的計算公式都把不均勻的結溫分布不得不當作均勻來處理才能計算出結溫，IEC 60747-7還特別聲明“請注意，此測量方法作了這樣的假設：當晶體管耗散功率時，結溫分布是均勻的，并且和校準晶體管時的溫度相同。這個假設可能是不成立的。”針對這個難題，對于被密封在體內看不見、摸不著的半導體芯片，苗慶海教授以發現的“小電流過趨熱效應”為突破口，應用MQH算法，建立了基于電學測量方法的“微電子器件熱譜分析方法”，較圓滿地解決了這一國際性難題。
該項研究成果還從理論和實驗兩方面證明了國際電工委員會標準IEC 60747-7中的原理性錯誤，并就這一發現致電國際電工委員會，國際電工委員會分管半導體分立器件的主席Annie Delort女士回信表示接納建議，感謝苗慶海教授等人對IEC 60747-7的貢獻。
該項研究先后得到了國家自然科學基金等多次立項資助，有關成果已通過相關部門鑒定，并聯合中國電子科技集團第十三研究所共同設計生產出了有關半導體器件可靠性分析儀。
目前，山東大學以苗慶海教授為學術帶頭人的“微電子器件及其可靠性研究”課題組現正在深度和廣度上進一步研究“微電子器件熱譜分析方法”，同時向實用化、工業化方向邁步，并爭取使其納入國內和國際標準行列。
該成果的選題來源于困擾微電子學領域的一個國際性科技難題，即用電學方法測量微電子器件芯片溫度分布不均勻性的難題。國際電工委員會的技術標準IEC 60747-7和美國軍標MIL-STD-883E是國際上普遍采用的關于測量微電子器件結溫的兩大系列標準，英國的BS IEC 60747-7、中華人民共和國國家標準GB/T 4587-94 和“中華人民共和國國家軍用標準 微電子器件試驗方法和程序”GJB548A－96是國際上采用這兩大系列標準的典型代表。這五個標準的計算公式都把不均勻的結溫分布不得不當作均勻來處理才能計算出結溫，IEC 60747-7還特別聲明“請注意，此測量方法作了這樣的假設：當晶體管耗散功率時，結溫分布是均勻的，并且和校準晶體管時的溫度相同。這個假設可能是不成立的。”針對這個難題，對于被密封在體內看不見、摸不著的半導體芯片，苗慶海教授以發現的“小電流過趨熱效應”為突破口，應用MQH算法，建立了基于電學測量方法的“微電子器件熱譜分析方法”，較圓滿地解決了這一國際性難題。
該項研究成果還從理論和實驗兩方面證明了國際電工委員會標準IEC 60747-7中的原理性錯誤，并就這一發現致電國際電工委員會，國際電工委員會分管半導體分立器件的主席Annie Delort女士回信表示接納建議，感謝苗慶海教授等人對IEC 60747-7的貢獻。
該項研究先后得到了國家自然科學基金等多次立項資助，有關成果已通過相關部門鑒定，并聯合中國電子科技集團第十三研究所共同設計生產出了有關半導體器件可靠性分析儀。
目前，山東大學以苗慶海教授為學術帶頭人的“微電子器件及其可靠性研究”課題組現正在深度和廣度上進一步研究“微電子器件熱譜分析方法”，同時向實用化、工業化方向邁步，并爭取使其納入國內和國際標準行列。
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